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水切割机高速激光晶圆划片工艺的特点

发布者: 实远水刀    时间:2006-4-16

      在划片-裂片工艺中,PCM图形必须设计有直通式划片槽。金刚石划片工艺不能通过PCM图形进行连续划片。因而PCM图形必须设计有划片槽。这就带来了PCM图形测试的问题。但是,对于激光划片工艺,PCM图形设计已不再是一个问题了。PCM图形可以设计成有助于当前正在完成的测试项目,而不是有助于裂片方法的要求。即使没有划片槽,激光划片工艺也不会中断。
      采用传统方法裂片时,划片槽上不能有蓝膜或金属残留。采用锯片切割工艺时,


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